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技術(shù)文章

潔凈室檢測(cè)第一步

時(shí)間:2020-12-22 08:48 點(diǎn)擊次數(shù):
氣流是控制潔凈度與溫濕度的最主要因素,它對(duì)噪音也有一些影響。因此風(fēng)速測(cè)量,放在潔凈室檢測(cè)的第一步。風(fēng)速測(cè)量的目的,是確認(rèn)濾網(wǎng)送出的氣流滿足設(shè)計(jì)規(guī)范,其次是確認(rèn)氣流的均勻度。在某些場(chǎng)合可能因現(xiàn)場(chǎng)的限制,室內(nèi)換氣量還必須用風(fēng)速乘以出口面積來?yè)Q算。只有在無法使用氣罩的場(chǎng)合(氣罩體積較大,有時(shí)會(huì)受限制),才能使用風(fēng)速乘以面積等于風(fēng)量的方式,用風(fēng)速來?yè)Q算風(fēng)量。風(fēng)量測(cè)量的目的通常是用來計(jì)算換氣量,一般是在非單一流向型無塵室,或是測(cè)量空調(diào)系統(tǒng)中各式各樣的出風(fēng)口、回風(fēng)口、排氣口等的風(fēng)量時(shí)使用。
1單一流向型潔凈室,很多都是設(shè)計(jì)成垂直層流,因此風(fēng)速均勻度非常重要,只有均勻的垂直層流,才能有效排除微粒污染。非單一流向型潔凈室,由于微??刂频挠^念是稀釋,不是立即排除,一般而言其換氣量遠(yuǎn)比風(fēng)速重要。但是需注明是濾網(wǎng)風(fēng)速測(cè)量或是無塵室室內(nèi)風(fēng)速測(cè)量。 

風(fēng)速檢測(cè)
二、使用儀器
潔凈室里面使用的HEPA/ULPA 濾網(wǎng),其送出氣流的速度多半都控制在0.5m/s 以內(nèi),因此所使用的風(fēng)速計(jì)必須是低速型。濾網(wǎng)風(fēng)速測(cè)量可使用單點(diǎn)式風(fēng)速計(jì)如電子式壓力計(jì)配合皮氏管、熱線式風(fēng)速計(jì)。也可以使用多點(diǎn)式風(fēng)速計(jì)如泰仕風(fēng)速計(jì)或者TSI風(fēng)速儀。輪葉式風(fēng)速計(jì)因使用范圍不同,通常不在無塵室內(nèi)使用。熱線式風(fēng)速計(jì)雖然高頻響應(yīng)良好,但是低速時(shí) 〈 0.5m/s 以下 〉 準(zhǔn)確性很低,因此不很適用。
一般熱反應(yīng)風(fēng)速計(jì)常用的是風(fēng)速計(jì)。轉(zhuǎn)輪式風(fēng)速計(jì)由于本身重量問題,也不適用低速。
風(fēng)速儀測(cè)量為間接式測(cè)量,風(fēng)量罩測(cè)量為直接測(cè)量,風(fēng)量測(cè)量應(yīng)當(dāng)使用氣罩( Flow Measuring Hood ),氣罩的測(cè)量范圍是 15~2500 cfm ,精確度要求為讀數(shù)的 ±3% 。由于氣罩本身會(huì)產(chǎn)生壓損,因此其形狀很重要,應(yīng)盡量使用原廠氣罩。若有必要自行制造罩子,應(yīng)注意氣流順暢并且做詳細(xì)比對(duì)。氣罩的校正非常重要,必須主機(jī)連同罩子一起校正,才能得到準(zhǔn)確校正值。檢驗(yàn)時(shí)必須使用校正合格且仍在有效期限的儀器,于正式檢測(cè)前及繳交報(bào)告時(shí)均須檢附合格之校正文件。 因此在潔凈室檢測(cè)中,第三方檢測(cè)機(jī)構(gòu)選擇風(fēng)量罩檢測(cè),風(fēng)速儀可以作為日常巡檢使用。
三、 測(cè)試步驟   
(1) 在圖面上記錄濾網(wǎng)尺寸、數(shù)量并編號(hào)。 
(2) 取樣點(diǎn)位于濾網(wǎng)下方 75-150mm 處。 
(3) 每一個(gè)濾網(wǎng)下,若是使用單點(diǎn)式風(fēng)速計(jì),則每 1 平方英尺取一點(diǎn);若是使用多點(diǎn)式風(fēng)速計(jì),則每 4 平方英尺取一點(diǎn)。 
(4) 每測(cè)量點(diǎn)必須取 5 秒的平均。 
(5) 依驗(yàn)收標(biāo)準(zhǔn)分析所有風(fēng)速,計(jì)算平均值、標(biāo)準(zhǔn)差、相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)差,并標(biāo)明不合格測(cè)試點(diǎn)。 
(6) 記錄所有原始數(shù)值,以及分析后的數(shù)值。重要的是在非單一流向型無塵室測(cè)試時(shí),特別注意取樣時(shí)風(fēng)速計(jì)不可受到干擾,以免影響準(zhǔn)確度。 
四、數(shù)據(jù)分析  1風(fēng)速測(cè)量很簡(jiǎn)單,但是均勻度必須由數(shù)據(jù)分析來判定。均勻度是由相對(duì)標(biāo)準(zhǔn)差來代表,其計(jì)算步驟如下。 1. 平均值:2. 標(biāo)準(zhǔn)差 

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