干法與濕法工藝均是利用閃蒸工藝，將過氧化氫溶液迅速汽化，注意這里的汽是帶三點水的汽（vapor），不是氣體的（gas）。汽體的含義就是里面包含了大量的微小液滴，如同云霧，是“氣”+“液滴”的混合物。兩種工藝的區(qū)別主要在干法工藝有除濕的過程。除濕后的環(huán)境下，閃蒸產生的汽體中，“氣”多，“小液滴”少。

好的霧化方法進行的物表消毒，物體表面通常是沒有可見的冷凝的，霧氣本身觸摸也沒有濕潤的感覺，也因此常稱為“干霧”。需要指出的是干霧過氧化氫消毒，其背后消毒的機理也是微冷凝，只是微冷凝層通常較厚，同時微冷凝層內的過氧化氫濃度提高有限。

霧化技術中，通常強調液滴的布朗運動加強了過氧化氫的擴散性能，其實這種說法是不準確的。對于大的液滴，擴散中重力效應是遠高于布朗運動效應的。只有當液滴的直徑非常小，如同PM2.5，其懸浮特征明顯，其布朗運動特征才顯著。同時霧化方法產生的液滴通常初速高，配合顯著的布朗運動，其擴散性能優(yōu)于汽化法。

霧化法的技術有了明顯的進步，部分廠家設備產生的過氧化氫液滴已經是微納米級別，十分接近“汽體”了或著就是“汽體”了。由于噴出的初速高達100 多米每秒，過氧化氫液滴在飛行中不斷在空氣的摩擦下繼續(xù)汽化，濃縮。這樣的情況下，使用8-10%濃度的純過氧化氫（沒有添加其它殺孢子劑）可實現6log的消殺（嗜熱或枯黑芽孢）。同時高速氣流有非常好的攪拌效應，加速了過氧化氫在空間環(huán)境內的擴散。

對于大的空間環(huán)境，例如制藥車間，動物房，醫(yī)院，當環(huán)境濕度高時，汽化法的過氧化氫進入環(huán)境中會產生許多小液滴的，效果更接近霧化（微納米級液滴），因此對溫度濕度要求很高，這導致消毒時間長。但在隔離器，安全柜，傳遞倉等小空間，溫濕度控制嚴格，消毒的要求高，或需要消毒高效過濾器，目前霧化方法還不能挑戰(zhàn)汽化的工藝。

霧化方法通常使用低濃度的過氧化氫（通常低于8%），汽化法使用高濃度的過氧化氫（通常大于30%）。對于普通的彩鋼板，汽化法工藝帶來的潛在腐蝕性更高。從合規(guī)的角度，低濃度的過氧化氫屬于普通化學品，采購，保管，使用更方便。

根據GMP設備驗證的要求和醫(yī)療機構的消毒規(guī)范，對于環(huán)境消毒，3LOG的殺滅率就是符合要求的。過度追求6LOG殺滅率，會影響這種3D，無死角的，無殘留的，可機械自動化的消毒技術的應用和普及。

對于常規(guī)的密閉環(huán)境下，即使純氣態(tài)的過氧化氫從機器中（通常是高于室溫幾十度的）進入到環(huán)境中，會與空氣中的微粒子結合，形核長大，形成汽態(tài)的過氧化氫，即小液體或汽霧。

而在物體表面，由于溫差，材料表面的形態(tài)，氣態(tài)或汽態(tài)的過氧化氫也會形核，冷凝長大。如同冬季的玻璃窗戶，表面凝結成霧或冷凝層，這種微冷凝層通常是不可見的。這層微冷凝層是過氧化氫物表消毒的核心。

對于干法工藝的代表美國Steris，對環(huán)境的溫濕度控制或要求的更精準，因此消毒的重復性會更好，這也是其在制藥等高端場合應用的多的原因。對于醫(yī)院類的應用，環(huán)境的溫度及濕度難控制，又是中高水平消毒（不是滅菌）的要求，此時干法的優(yōu)勢就難發(fā)揮出來了，實際上在醫(yī)院的應用中濕法的設備比較流行。

因此針對不同濃度過氧化氫的消毒方法，對過氧化氫的氣體檢測儀的作用也就不同，比如有0-1PPM量程的H2O2檢測儀，這種基本是確認空氣中無過氧化氫，因為消毒殘留，還是過多過少會有，因此此儀器會一直會處在報警狀態(tài)，且超量程不宜復位，0-10PPM手持式過氧化氫，如德爾格的便攜式氣體檢測儀X-AM5100比較適合藥企消毒殘留檢測，而量程0-100或者0-1000PPm，由于人體無法暴露在此高度濃度過氧化氫的環(huán)境下，因此采用固定式過氧化氫氣體檢測儀，更為合理。