潔凈室相對濕度是確定一個潔凈室正常運行條件的要給基礎環(huán)境參數(shù)，而且可允許的的濕度范圍都非常精確。潔凈室為什么要如此精確的濕度控制？潔凈室檢測為什么都會檢測濕度？用什么儀器可以檢測濕度?
因為相對濕度會影響場所工作的主要因素產(chǎn)生影響：
1靜電釋放的風險
相對濕度水平低于30%更容易產(chǎn)生靜電釋放，嚴重損壞電子元器件。尤其是以生產(chǎn)半導體，微電子為為例。靜電擊穿，造成損失高達30%。
2產(chǎn)生微生物的污染
相對濕度超過50%會導致細菌繁殖，和其他生物污染（病毒，真菌，霉，螨），相對濕度在40%-60%之間能使細菌和呼吸系統(tǒng)感染的影響減少到最小。
3影響化學反應的速度
很多化學反應的速度，包括腐蝕過程，都取決于相對濕度，精密的濕度控制意味著能夠更好的控制這些過程。
4光感劑性能不穩(wěn)定
由于光感劑的粘性（敷設等厚膜的可能性）對相對濕度及其敏感，因此當處理半導體的時候，濕度的控制要求極端的精確。
5增加毛管壓力
在高相對濕度水平下，毛管壓力增加對表面的水粒子的黏附，這些毛管壓力可能會對處理的速度和精確產(chǎn)生不想要的結(jié)果。
6人身生活舒適度。
相對濕度在40%-60%之間代表人體生活舒適區(qū)間，高濕度導致一個不舒適的感覺，而低濕度會涉及干燥。

產(chǎn)品工藝要求， 環(huán)境控制考慮，GMP要求

98GMP：無特殊要求時， 潔凈室（區(qū)） 的溫度應控制在 18～26℃， 相對濕度控制在 45～65%。

獸藥 GMP：無特殊要求時， 潔凈室（區(qū)） 的溫度應控制在 18～26℃， 相對濕度控制在 30～65%。

2010GMP、 歐盟等：只要原則性條文， 無具體規(guī)定。

潔凈室檢測濕度的方法：
DP70B手持表是瑞士 ROTRONIC 在中國的OEM產(chǎn)品，是一款性價比特別高的露點儀。它的探頭是全不銹鋼的，儀表外殼是原裝進口鋁合金的，非常厚重、結(jié)實。無論 是技術(shù)還是外殼材質(zhì)全部是原裝進口的，價格僅為進口的一半不到。它匯集了當今所有濕度測量的高端技術(shù)，把濕度精度提高到 0.5%RH。從而保證露點的測量精度。